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电子无尘室/洁净室检测项目
检测项目
适用对象
检测标准

风速(单向流)检测

风量/换气次数检测

压差检测

高效过滤器检漏(粒子计数器法)

洁净度检测(悬浮粒子数)

温度检测

相对湿度检测

噪声检测

照度检测
电子无尘室/洁净室
《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472-2008
《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010

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